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4.ÍøÂçÓëͨѶ°²È«¼¼Êõ
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2.΢ÉúÎï·¢½Í¼¼Êõ
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3.ÉúÎï·´Ó³¼°·ÖÀë¼¼Êõ
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4.ÌìÈ»²úÆ·ÓÐЧ³É·ÝµÄ·ÖÀëÌáÈ¡¼¼Êõ
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6.ʳƷ°²È«¼ì²â¼¼Êõ
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2.ÐóÇÝË®²úÁ¼ºÃÐÂÖÖÀàÓë½¡È«ÑøÖ³¼¼Êõ
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2.·ÉÐÐÆ÷¶¯Á¦¼¼Êõ
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4.ÎÀÐÇÓÐÐ§ÔØºÉ¼¼Êõ
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5.½ðÊô¼°½ðÊô»ù¸´ºÏÐÂ×ÊÁÏÔ챸¼¼Êõ
µÍÃܶȡ¢¸ßÇ¿¶È¡¢¸ßµ¯ÐÔÄ£Á¿¡¢¿¹Î¯¶ÙÐÂÐͽðÊô¼°½ðÊô»ù¸´ºÏ»ïÁÏÔ챸¼¼Êõ£»ÄÍÄ¥¡¢¿¹Ê´¡¢¸ÄÉÆµ¼µçºÍµ¼ÈȵȻúÄܵĽðÊô»ù¸´ºÏ»ïÁÏÔ챸¼°±í±í¸ÄÐÔ¼¼ÊõµÈ¡£
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ʯīϩÔ챸¼°ÀûÓü¼Êõ£»´ó³ß´ç¹èµ¥¾§³É³¤¡¢¾§Æ¬Å×¹âÆ¬¡¢SOIƬ¼°SiGe/Si±íÑÓÆ¬Ô챸¼Ó¹¤¼¼Êõ£»´óÐÍMOCVD¹Ø¼üÅäÌ××ÊÁÏ¡¢¹è³Äµ×±íÑÓºÍOLEDÕÕÃ÷ÐÂ×ÊÁÏÔ챸¼¼Êõ£»´ó³ß´çÉé»¯ïØ³Äµ×¡¢Å׹⼰±íÑÓÆ¬¡¢GaAs/Si×ÊÁÏÔ챸¼¼Êõ£»ºì±íÕ൥¾§ºÍ¿í´øÏ¶µ¥¾§¼°±íÑÓ×ÊÁÏÔ챸¼¼Êõ£»µÚÈý´ú¿í½û´ø°ëµ¼Ìå×ÊÁÏÔ챸¼¼Êõ£»¸ß´¿½ðÊôïØ¡¢î÷¡¢Éé¡¢Õà¡¢Áס¢ïÓ°ëµ¼ÌåÕôÁó¡¢ÇøÈÛÌá´¿´óÐÍÂ½Ðø»¯¹¤ÒÕ¼¼Êõ£¬¸ß´¿¼°³¬¸ß´¿ÓÐÉ«½ðÊô×ÊÁϾ«±ÙÌá´¿¼¼Êõ¼°ºÛÁ¿ÔÓÖʲâÊÔ¼¼Êõ£»µÍ´«È¾¹èÍé·¨¸ß´¿¶Èµç×Ó¼¶¶à¾§¹èÌá´¿¡¢ºó´¦Öá¢ÇøÈÛ¹æÄ£»¯³ö²ú¼¼ÊõµÈ¡£
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